Thermo Electric
- Home
- Partners
- Thermo Electric
1. Thermocouple
Thermocouple adalah jenis sensor suhu yang digunakan untuk mendeteksi atau mengukur suhu melalui dua jenis logam konduktor berbeda yang digabung pada ujungnya sehingga menimbulkan efek “Thermo-electric”. Prinsip kerja Thermocouple cukup mudah dan sederhana. Pada dasarnya Thermocouple hanya terdiri dari dua kawat logam konduktor yang berbeda jenis dan digabungkan ujungnya. Satu jenis logam konduktor yang terdapat pada Thermocouple akan berfungsi sebagai referensi dengan suhu konstan (tetap) sedangkan yang satunya lagi sebagai logam konduktor yang mendeteksi suhu panas.
2. RTD (Resistance Temperature Detectors)
RTD ( Restitance Temperature Detectors) lebih akurat dan dapat diulang dalam jangka waktu yang lama daripada sensor lain seperti Thermocouple, Termometer Bi-metal, atau Termistor. Namun mereka memiliki kisaran suhu yang lebih rendah, waktu respons lebih lambat, dan biaya lebih tinggi daripada opsi lainnya. RTD ( Restitance Temperature Detectors) berfungsi untuk mengubah suhu menjadi resistansi/hambatan listrik yang sebanding dengan perubahan suhu. Semakin tinggi suhu, resistansinya semakin besar RTD terbuat dari sebuah kumparan kawat platinum pada papan pembentuk dari bahan isolator.
3. Instrumented Wafer
Instrumented Wafer (Thermocouples, Bonded Wafer atau RTDs) menemukan aplikasi dalam peralatan pemrosesan semikonduktor di mana mengetahui dan mengontrol suhu pada permukaan wafer sangat penting.
Wafer instrumen Thermo Electric digunakan di banyak industri termasuk aplikasi seperti Rapid Thermal Processing (RTP), Rapid Thermal Annealing (RTA), Post Exposure Bake (PEB), Chemical Vapour Deposition (CVD), Physical Vapour Deposition (PVD), ION Implantasi, Sel Surya, dan banyak proses yang didorong oleh panas lainnya.